多点开花！余姚这家企业硬核攻坚先进半导体设备

“得益于半导体行业良好态势和公司前期的战略布局，今年上半年公司订单充足，产能利用率维持在高位，各项经营指标均实现了稳步增长。”近日，宁波润华全芯微电子设备有限公司（以下简称“全芯微”）总经理袁宁丰在采访中这样告诉记者，言语间满是欣喜之情。

图为企业生产车间 企业供图

作为半导体生产设备领域的供应商，全芯微主营匀胶显影机、去胶剥离机、刻蚀清洗机等产品，并提供整线设备解决方案。公司拥有多项专利技术，覆盖算法调度控制、高速洁净机器人、光刻胶泵等核心关键技术，近年来服务领域还延伸到了AI人工智能、滤波器、半导体光学等新兴方向。在技术突破方面，企业成功开发出28纳米ArF涂胶显影设备，技术成熟度位居国内前列，在突破先进制程设备壁垒方面取得了重大进展。

“近来企业最喜人的变化，不是单一板块的爆发，而是‘多点开花’。”袁宁丰向记者细数了三大领域的突破：在集成电路领域，企业成功打入多家主流芯片制造企业，实现了新客户导入，为进一步扩大市场份额打开了局面；先进封装领域，企业顺应AI算力芯片需求激增的趋势，提前布局2.5D/3D先进封装和板级封装市场，并陆续推出系列化产品；在光电射频领域，系列产品已在多家主流光电及通讯芯片制造企业实现量产应用。

图为企业生产车间 企业供图

今年以来，面对下游半导体市场持续高涨的需求态势，全芯微紧抓产业黄金窗口期，全力推进“年产60套半导体专用设备生产项目”建设进程，力求以产能升级回应市场期待、以战略布局锚定长远发展。

“目前项目整体推进节奏稳健、符合预期，各项工程均按既定计划有序落实，主体厂房已竣工，一楼车间正紧锣密鼓地内部结构施工，预计8月底全面完成内部作业，9月份即可正式投入生产运营。”袁宁丰表示，项目建成后，公司生产弹性与响应速度将得到质的提升，生产能力和交付效率显著增强，有望进一步巩固和扩大在半导体设备领域的市场份额。

编辑、一审：肖宇芳 二审：朱从谷 三审：王润