马松：匠心打磨半导体制造“关键一环”

溅射工艺是现代半导体制造的重要环节，其中环件的设计与加工精度更直接关系到芯片的性能、良率与生产成本，即便是一处微小的几何偏差或表面缺陷，都可能产生巨大的影响。正因如此，在这条精密制造的链条上，更需要有人将每一个细节打磨到极致。马松正是其中的代表。

这位“85后”浙江工匠，自2009年加入宁波江丰电子材料股份有限公司以来，一直奋斗在半导体靶材生产一线。如今，他是半导体靶材事业部制造中心五工段工段长，带领着90多人的团队，专注于环件的设计、加工、修复与量产，用技术攻关支撑起国内半导体材料的稳定供应。

初入江丰时，马松所在的新品试制团队仅有3人。“团队小、任务重，什么都得学、什么都得干。”回忆起步阶段，他的语气里满是感慨，“我从最基础的普车工作开始，一点点接触刻花、滚花、钳工、精密清洗……慢慢把整个流程摸透。”他特别提到自己的师傅汪涛：“滚花看起来简单，其实力度、角度、手势都有讲究。师傅就站在我旁边，手把手地教。要是没有他的耐心指导，我可能要走很多弯路。”此后，马松在日复一日的实践中积累经验、总结方法，逐渐成长为团队的技术骨干。

随着芯片制程不断迭代，客户对环件的需求越来越多样化、个性化。“即使是同一型号的环件，在不同客户的设备系统中使用时，也会出现使用异常的情况。”这让马松意识到，可能存在某种技术兼容性问题，导致产品无法在所有客户的设备系统中稳定运行。为此，他带领团队投入研发，针对不同客户的需求，对滚花工艺展开细致分析和反复优化。通过一轮又一轮的调试与验证，团队陆续开发出50多个环件版本并实现量产。

马松坦言，环件修复也存在不少技术难点。其中，在加工过程中材料易变形、难重复利用曾是行业普遍难题。“首先要将变形的材料重新恢复为正圆，才能进行后续机械加工。如果表面花纹缺失，还需精准补刻，再进行精细微调，最后用精密的显微镜进行检查。”马松解释道。通过反复试验加工路径，他和团队将环件修复成功率从最初的约50%，逐步提升到可稳定量产的水平。2020年，由他主导研发的《（清松加工法）TaCoil修复再生使用技术》，入选浙江省第七批先进职业操作法，成为行业内可推广的工艺标准。仅此一项技术，每年就能为企业创造约1000万元的产值。

如今，作为技能带头人，马松也如师傅当年那般，将自己的技术经验毫无保留地传授给新人。在他的带领下，团队中涌现出多位“宁波青年工匠”“余姚青年工匠”“技能大师”，“00后”逐渐成为中坚力量。

深耕一线，马松始终用专注回应着产业对“精度”的极致追求，也把从前辈手里接过来的工匠精神接力棒传递到更多有志青年手中。他以匠心串联起环件生产中的每一个细节，为保障半导体材料产业链稳定默默贡献着自己的力量。

编辑、一审：徐坚 二审：苏英英 三审：王润